核心技術
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您當前位置：首頁 > 真空技術 超高真空（Ultra High Vacuum，UHV）是指壓力低于1×10-8mbar的真空狀態。在這種環境下，氣體分子的數量非常稀少，平均自由程約數十公里，處于分子流狀態，幾乎所有分子相互作用都發生在腔體的各個表面上。典型的固體表面原子密度約為1015cm-2，假設碰撞到表面上的分子完全被吸附，在10-6mbar的真空壓力下形成分子單層僅需幾秒，而在10-10mbar或10-11mbar真空下時，形成單分子層的時間則達幾小時到幾十小時，因此，潔凈的材料表面都必須在超高真空環境下獲得和保持。
UHV技術的應用廣泛覆蓋多個領域，包括材料科學、表面科學、半導體工業和光學研究等。在超高真空的環境中，研究者能夠更加準確地深入研究材料的特性、探索表面化學反應和微觀結構，同時應用于制造高性能電子器件等前沿領域。
超高真空技術主要涉及超高真空的獲取、測量和維持，以及UHV條件下的運動。費勉儀器已成功掌握超高真空狀態下涉及的一系列精密而復雜的技術，包括高效的真空泵系統、特殊材料的選擇和處理、精密的真空腔室設計，以及準確的真空測量和控制系統。這些技術的綜合運用使得超高真空環境不僅能夠提供極低的氣體分子干擾，同時能夠穩定地維持這種高度真空狀態。我們成功自主開發了多項真空系統的核心組件，獲得真空領域授權專利28個。
我們自產的真空部件，不僅能滿足用戶在超高真空環境中的多維線性和旋轉運動，并且可以實現真空系統中穩定精準傳樣。
真空部件均采用超高真空兼容材料，能夠在10-11mbar至1bar的工作氣壓范圍內穩定運行。
超高真空直線互聯系統，可集成材料制備、材料處理、材料表征和量測類等多種功能性設備，實現材料全生命周期的綜合物性研究。
直線互聯系統采用模塊化設計，拓展性強，極限真空可達10-11mbar量級。
圓形傳樣互聯系統基于多通道圓形傳樣系統的模塊化設計，結構緊湊，運行高效。它既適用于小型實驗室級別的互聯搭建，也可以實現大型設備平臺的構建。
圓形傳樣互聯系統極限真空可達10-11mbar量級，同時采用固體潤滑薄膜技術，可靠耐用。
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