MBE-600 分子束外延系統(tǒng)

MBE-600系統(tǒng)非常適合III-V，II-VI的材料應(yīng)用，該系統(tǒng)可以對(duì)1、2和3英寸襯底進(jìn)行外延，并且其垂直腔室設(shè)計(jì)以及各種先進(jìn)組件可實(shí)現(xiàn)逐層精確的外延。

MBE-600的突出特點(diǎn)是系統(tǒng)的高可靠性、多功能性和緊湊性，這些功能使MBE-600系統(tǒng)特別適合研發(fā)應(yīng)用及準(zhǔn)批量生產(chǎn)。MBE-600的標(biāo)準(zhǔn)版本包括10個(gè)源端口，其中7個(gè)法蘭尺寸為4.5英寸（DN63CF），3個(gè)法蘭尺寸為2.75英寸（DN35CF）。MBE-600的定制版本也涵蓋了特定的生產(chǎn)需求，例如超高真空解理鍍膜系統(tǒng)。

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根據(jù)我們所有客戶的要求，我們提供不同種類的普通蒸發(fā)源，帶閥的裂化器源，氣體源和電子束蒸發(fā)源。通過(guò)使用BFM，QCM，RHEED，RGA等，可以獲得系統(tǒng)原位表征。費(fèi)勉的MBE軟件包括生長(zhǎng)工藝程序編寫、自動(dòng)生長(zhǎng)控制和不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能。可以執(zhí)行生長(zhǎng)工藝程序控制擋板運(yùn)動(dòng)，源爐溫度，襯底溫度，襯底旋轉(zhuǎn)速度和方向。保證最大的操作可重復(fù)性和安全性。控制軟件包括溫度曲線，真空壓力曲線，電源輸出功率曲線，各系統(tǒng)間傳樣等工藝需求功能。

MBE-600 手動(dòng)傳樣系統(tǒng)
	可以進(jìn)行3inch襯底傳遞。費(fèi)勉儀器將傳統(tǒng)的襯底轉(zhuǎn)移方法轉(zhuǎn)換為一個(gè)功能齊全的設(shè)備。該系統(tǒng)不僅可以提供水平線性運(yùn)動(dòng)進(jìn)行襯底轉(zhuǎn)移，而且可以在垂直方向上提供高達(dá)25 mm的移動(dòng)空間以進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)來(lái)取出或放置襯底。該系統(tǒng)無(wú)需使用二次運(yùn)動(dòng)工具，降低了成本并極大地簡(jiǎn)化了襯底傳輸技術(shù)。
MBE-600 Cluster 全自動(dòng)傳樣系統(tǒng)
	可以輕松將襯底傳至各個(gè)腔室，而不會(huì)破壞MBE腔室真空度。Cluster Tool是安裝在UFO頂部或底部的機(jī)械臂組件，可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)，目的是在整個(gè)MBE系統(tǒng)中轉(zhuǎn)移襯底；搭配線性驅(qū)動(dòng)裝置，實(shí)現(xiàn)垂直方向0~50mm自由運(yùn)動(dòng)，目的是放置和抓取襯底。機(jī)械臂末端可搭配3inch襯底抓取頭，最大負(fù)載可達(dá)1kg。機(jī)械臂通過(guò)高扭矩磁耦合驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)至所需真空腔體端口，定位基片安裝在機(jī)械臂前端上，以檢測(cè)機(jī)械臂在系統(tǒng)模塊內(nèi)移動(dòng)襯底的過(guò)程。

	配置	MBE-600
生長(zhǎng)室	腔體尺寸	450mm I.D.
	極限真空	<2×10^-10mbar
	液氮冷屏	標(biāo)配
	冷屏通液氮后極限真空	<5×10^-11mbar
	襯底加熱器最高溫度	1000℃
	襯底加熱器溫度穩(wěn)定性	±0.5℃
	襯底最大尺寸	3inch
	襯底旋轉(zhuǎn)	60RPM
	蒸發(fā)源配置	CF35×3／CF63×7
	獨(dú)立的蒸發(fā)源擋板	電機(jī)驅(qū)動(dòng)
	離子規(guī)	1×10^-3~2×10^-11mbar
	烘烤溫度	200℃
預(yù)處理	極限真空	<2×10^-10mbar
	預(yù)處理加熱器最高溫度	450℃
	離子規(guī)	1×10^-3~2×10^-11mbar
進(jìn)樣室	極限真空	<1×10^-8mbar
	樣品停放臺(tái)	至少4+2
	紅外烘烤燈	選配
	全量程規(guī)	1×10³~5×10^-9mbar
傳樣室	極限真空	<5×10^-10mbar
	傳樣時(shí)壓力	<1×10^-9mbar
	手動(dòng)/全自動(dòng)	選配
	離子規(guī)	1×10^-3~2×10^-11mbar
	樣品停放臺(tái)	至少4+2
系統(tǒng)控制	觸摸屏操作面板	加配
	生長(zhǎng)工藝程序編寫	加配
	自動(dòng)生長(zhǎng)控制	加配
	不間斷數(shù)據(jù)記錄	加配
	報(bào)警保護(hù)功能	加配
	聯(lián)鎖功能	加配
選配	CCD	選配
	手套箱	選配
	磷回收系統(tǒng)	選配
	襯底紅外測(cè)溫系統(tǒng)	選配
	真空照明系統(tǒng)	選配
	SMS	選配

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